半导体光刻胶是光刻过程的关键耗材，光刻胶的质量和性能对光刻工艺有着重要影响，因其技术壁垒高而长期被海外大厂所主导，是半导体国产化的一道大坎。目前全球光刻胶主要企业有日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、住友化学、信越化学、陶氏化学等，占市场份额超过85%。据悉，由于日本信越化学KrF光刻胶产能不足等原因，导致中国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张，部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至出现了断供，多家晶圆厂在加速验证导入本土KrF光刻胶。而信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶，与数月前日本福岛东部海域发生7.3级地震有莫大关联。据行业人士透露，由于地震原因，信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏，至今尚未完全恢复生产，在产线受到影响和晶圆厂扩产等多方因素下，信越化学不得不停止向中国大陆几家晶圆厂供应KrF光刻胶。虽然东京应化填补了信越化学海外大部分缺失的KrF光刻胶产能，但目前仍存在不小的缺口，中国大陆多家晶圆厂正在加速验证导入本土厂商彤程新材子公司北京科华的KrF光刻胶。早在今年2月中旬，就有“受地震影响信越化学光刻胶工厂停产”的报道，在当时福岛地震发生后，信越化学KrF光刻胶生产以及海外供货就受阻，当时下游代理商考虑配合运输与相关成本提高，调涨新合约报价。只是超出市场预料的是，信越化学受影响的KrF光刻胶产线至今尚未完全恢复生产，这一定程度上或与光刻胶产线受到污染有关。而在信越化学KrF光刻胶产线短期难以恢复的状况下，FAB厂客户都面临较大的缺货危机，要知道信越化学占据全球光刻胶市场份额超两成，其主要供应的KrF光刻胶占据不小的市场份额。据行业人士透露，在信越化学KrF光刻胶产能出现供应短缺之后，部分海外客户产能需求由东京应化（TOK）填补了，但在中国大陆的晶圆厂客户仍面临不小的供应短缺问题。行业周知，全球半导体光刻胶被日本JSR、TOK、住友化学、信越化学，以及美国陶氏化学所主导。JSR是现在全球最大的，技术是最领先的光刻胶龙头，Intel、三星和台积电都是JSR核心客户，I-line、KrF、ArF、EUV光刻胶产品全覆盖。TOK专注于做光刻胶及配套试剂，在G线、I线，KrF和ArF都有些市场份额。陶氏的光刻胶事业部已经并入杜邦，客户是Intel、IBM体系，但在大陆市场占有率不是很高。信越化学主要切入点就是从KrF和ArF开始，EUV光刻胶也在开发，在中国大陆有不少FAB厂客户。上述行业人士还表示，由于KrF光刻胶产能受限以及全球晶圆厂积极扩产等原因，信越化学已经向中国大陆多家一线晶圆厂限制供货KrF光刻胶，且已通知更小规模晶圆厂停止供货KrF光刻胶，国内多家晶圆厂将会面临KrF光刻胶大缺货的处境。事实上，国内晶圆厂面临KrF光刻胶大缺货，除了信越化学KrF光刻胶产线供应出问题外，更大的原因在于，在日本福岛地震之前，KrF光刻胶的产能供应就较为紧张。据央视财经报道，今年年初以来半导体光刻胶供应极为短缺，以往企业每次采购的光刻胶量约在100kg，近期由于原材料短缺，每期只能采购到10kg-20kg，价格方面也随之水涨船高。其中，光刻胶关键材料稀释剂从4月份价格提高50%，这也进一步传导至光刻胶价格上涨。再加之，由于全球晶圆代工产能不足，产能扩充一直在进行中，光刻胶市场也在保持稳定增长，但实际产能开出并没有与晶圆厂形成匹配。今年以来，除了台积电、三星、英特尔、联电等晶圆厂积极扩产外，中芯国际、华虹宏力、广州粤芯等多家本土晶圆厂积极扩产和产能释放，这也就导致国内光刻胶需求量远大于本土产量，且差额逐年扩大，尤其是在高端KrF、ArF等半导体光刻胶。然而，截至目前，国内能够批量供应KrF、ArF光刻胶的厂商却为数不多。根据SEMI数据，日本几大厂商在g线/i线、KrF、ArF胶市场中市占率分别为61%、80%、93%，而国内g线/i线自给率约为20%，KrF光刻胶的自给率不足5%，12寸硅片的ArF光刻胶目前尚无国内企业可以大规模生产。
其中，在国产半导体光刻胶厂商中，彤程新材控股子公司北京科华、晶瑞股份都已经量产g线/i线光刻胶，上海新阳投建的干法ArF光刻胶尚无实质进展，南大光电的ArF光刻胶已通过某一客户认证，晶瑞股份KrF光刻胶已经完成中试，正进入客户测试阶段，而彤程新材（北京科华）KrF光刻胶项目早已通过“国家02”验收，并从在去年就已经开始大量导入国内多家晶圆厂。
资料显示，彤程新材成立于1999年，2018年6月在上交所A股主板成功上市，是全球领先的新材料综合服务商。公司拥有北京和上海双研发中心，在上海、江苏等地建成具有新一代国际标准的生产基地，是全球知名的高端酚醛树脂生产商，也是国内半导体和显示面板光刻胶等电子化学品领先企业。
公司全资子公司——彤程电子，战略收购了国内半导体光刻胶领先企业北京科华微电子；战略收购北旭电子，是国产显示光刻胶的龙头企业，其生产的TFT正性光刻胶在国内头部显示面板企业京东方占有40%以上的份额。公司致力于解决中国半导体和显示材料产业链关键材料国产化，成为国际领先的半导体和显示材料关键材料生产商和解决方案提供商。2020年12月，彤程新材发布对外投资光刻胶项目的公告称，公司决定通过其全资子公司上海彤程电子材料有限公司，投资5.6988亿元（建设投资），在上海化学工业区建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目，同时还将建设配套公用工程及辅助设施、检测实验楼等，预计于2021年末建成投产。今年2月24日，彤程新材发布公告称，公司通过受让股权、签署一致行动人协议等，合计持有国内领先的半导体光刻胶生产商科华微电子56.23%的表决权，从而实现对其控股。彤程新材表示：“通过控股科华微电子、投资北旭电子，彤程新材快速切入半导体光刻胶、面板光刻胶市场，实现了从精细化工业务向电子化学品领域的战略扩张。”
来源：半导体投资联盟；作者：尔目
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