上海新阳：KrF光刻胶已斩获国内主流芯片厂订单
近年来，随着大规模和超大规模集成电路的发展，作为微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，光刻胶的研究开发和应用也被提速。
在国家扶持半导体和光刻胶材料的政策背景下，国内光刻胶行业面临半导体产业链蓬勃发展的历史性机遇，上下游企业配合联动，有望加快半导体光刻胶的研发进程和产品导入，实现新突破。根据势银（TrendBank）预测，2022年中国半导体光刻胶市场规模将达到39.3亿元，同比增长35%。近日，据国内半导体光刻胶企业上海新阳透露，其KrF光刻胶产品成功打入国内主流芯片企业，这对于国内产业链而言是一个令人鼓舞的“量变”。另外，其高端Arf光刻胶产品：ArF、ArF-i光刻胶研发进展顺利，目前已进入客户端进行测试。
KrF光刻胶订单包含国内头部芯企，已启动EUV光刻胶前期研发5月20日，上海新阳在业绩说明会上透露了半导体光刻胶的当前进展。ArF光刻胶方面，ArF、ArF-i光刻胶研发进展顺利，已经形成两个系列试验产品，样品已经进入客户端进行测试。上海新阳表示：“由于测试耗时比较长，近期不会有销售的发生，但是产品总体技术的指标还都比较不错，我们现在对这方面也比较有信心。”KrF光刻胶方面，去年已完成几款KrF光刻胶产品的研发、验证并实现销售，在手订单中含有国内主流头部芯片制造公司等大小客户，覆盖铝线制程和铜线制程，用于逻辑、模拟等芯片的生产制造。上海新阳表示：“由于客户对于光刻胶的使用都会比较谨慎，目前还都是小批量使用，所以今年的销售额可能不会很大，但明年用量可能会增加较多，后续增长空间较大，我们可以有所期待。”EUV光刻胶方面，上海新阳表示现在已开始进行EUV光刻胶的前期摸索性基础研发，主要为EUV光刻胶的基础理论、形成机理、性能观察、配方筛选、制备方法等基础性研发工作。此外，关于“疫情对于公司生产经营带来了哪些影响”的问题，上海新阳回应称，疫情对公司业务整体有一定影响，半导体业务化学产品生产一直没停，设备产品停了一个多月，目前刚刚恢复生产。在物流、后勤保障和研发方面影响较大，三到五月，物流运输成本增加较多，这一情况估计还会持续一段时间。研发停了一个多月，目前在逐步恢复。
光刻胶因其高壁垒、高价值量的特点，主要被日本、韩国和欧美国家垄断，特别是ArF浸润式（28nm及以下）以及EUV等关键节点，是半导体国产化的一道大坎。但随着未来五年中国大陆晶圆厂的扩建趋势，光刻胶的市场需求也将持续增加。上海新阳作为国内半导体光刻胶企业的重要一员，正努力推动半导体光刻胶量产导入进程的加速。其表示，公司未来将继续向半导体材料行业产业链深入发展，加快集成电路用高端光刻胶产品的研发并早日实现突破。同时，以集成电路产业为主，向平板（LCD）制造业、光电（LED）制造业等泛半导体材料领域横向拓展。注：文内信息仅为提供分享交流渠道，不代表本公众号观点